论文部分内容阅读
本文采用磁控溅射法在０．５ｍｍ厚的４０Ｃｒ钢基片上沉积１￣１２μｍ的ＮｉＣｒ合金薄膜，运用钠光平面干涉法测量ＮｉＣｒ溅射薄膜的内应在力，研究表明影响ＮｉＣｒ薄膜内应力的主要因素是工作气压和基片温度，并运用Ｋｌｏｋｏｌｍ理论对该影响作用进行了分析。
NiCr溅射薄膜内应力的研究
【摘 要】
：
本文采用磁控溅射法在０．５ｍｍ厚的４０Ｃｒ钢基片上沉积１￣１２μｍ的ＮｉＣｒ合金薄膜，运用钠光平面干涉法测量ＮｉＣｒ溅射薄膜的内应在力，研究表明影响ＮｉＣｒ薄膜内应力的主要因素是工作气压和基片温度，并运用Ｋｌｏｋｏｌｍ理论对该影响作
【机 构】
：
福州大学电子科学与应用物理系
【出 处】
：
真空电子技术
【发表日期】
：
2000年5期
其他文献
目的了解无锡地区成人牙周炎的发病率和发病程度。方法对来院健康体检人员随机抽样,进行牙周健康状况的调查。结果牙周炎发病率为40.50%,发病程度与年龄、性别、口腔卫生状况
1910年,东北爆发鼠疫。为应对东北鼠疫,清政府采取交通遮断的措施。东北地区交通状况决定了交通遮断必须从铁路、陆路和海路三方面着手。该地区大量外来苦工成为交通遮断的主
钛及其合金具有诸如较小的密度、高的比强度、良好的力学性能和耐腐蚀性、无磁无毒等优点,被广泛应用于航空航天、航海、石油化工、汽车、医疗、能源等诸多领域。钛合金具有
教师传授书本知识的同时,还有必要用心对学生人生发展中的许多困惑、迷茫以至误区问题加以启蒙点拨引导,帮助建立正确的思想观念乃至方法,做学生人格塑造与学业精神的导师。"
<正>一 当代教育测量研究的重要内容是对思维的解析与测量,也是历史学科考试理论研究的主要课题。 欲解析历史思维,就需要对人类思维现象有一个基本了解。这里,我们首先遇
近年来,伴随我国城市化进程的不断加快,城市高架桥梁建设数目已经逐渐增多,这大大的推进了我国城市化的进程,提高了我国的社会经济收入。当前,由于我国城市高架桥梁道路的建