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简要介绍离子束-电子束-原子束结合沉积技术的原理及特点,并对该技术制备的各种合金、陶瓷以及复合膜的形貌特征进行了分析研究。
离子束—电子束—原子束结合沉积技术制成膜的形貌特征
【摘 要】
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简要介绍离子束-电子束-原子束结合沉积技术的原理及特点,并对该技术制备的各种合金、陶瓷以及复合膜的形貌特征进行了分析研究。
【机 构】
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四川大学原子核科学技术研究所成都610064
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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1992年8期
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