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自从20世纪30年代电子显微镜面世以来，受电子透镜象差限制的分辨率极限就一直阻碍着它的发展。与可见光显微镜相比．电子透镜大约差50倍。所以．大约一个世纪以前．当普通显微镜达到其分辨率极限——近可见光波长时．电子显微镜却没有任何进展。
象差校正STEM开辟新远景
【摘 要】
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自从20世纪30年代电子显微镜面世以来，受电子透镜象差限制的分辨率极限就一直阻碍着它的发展。与可见光显微镜相比．电子透镜大约差50倍。所以．大约一个世纪以前．当普通显微镜达到
【机 构】
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niconductorInternational责任编辑
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2006年11期
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