退火温度对溶胶-凝胶法制备Na掺杂ZnO薄膜的结构和光学特性的影响

来源 :发光学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chungkhoan2002
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采用溶胶-凝胶旋涂法在Si(100)衬底上制备Na掺杂ZnO薄膜,退火温度分别为873,973,1073K。研究了退火温度对Na掺杂ZnO薄膜形貌、微观结构和光学性能的影响。室温光致发光谱显示,在973K下退火的样品具有中心位于361nm处尖锐而强的紫外发光峰,在388,425nm处各有一个比较弱的紫色和蓝色发光峰,在可见光范围内发光峰的强度很弱。
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