切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
激光直接写入工艺的研究
激光直接写入工艺的研究
来源 :光电子.激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hhenry123
【摘 要】
:
本文介绍了四轴激光直接写入系统,对激光直接在光刻胶上写入图形的工艺进行了研究,讨论了在不同离焦情况下,胶层内光斑的大小和强度分布,采用离焦的方法在光刻胶上刻画了周期为20
【作 者】
:
李凤友
赵晶丽
等
【机 构】
:
中科院长春光机所应用光学国家重点实验室,中科院长春光机所十七实验室
【出 处】
:
光电子.激光
【发表日期】
:
2001年9期
【关键词】
:
激光直接写入
离焦
光刻
laser direct writing system defocusingphotolithography
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助项目 ( 6 0 0 780 0 6 )
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
本文介绍了四轴激光直接写入系统,对激光直接在光刻胶上写入图形的工艺进行了研究,讨论了在不同离焦情况下,胶层内光斑的大小和强度分布,采用离焦的方法在光刻胶上刻画了周期为20μm的线光栅和线宽为10μm的分划板,对实验结果进行了分析。
其他文献
试论英语教育的教学内容选择
在国际化步伐不断加快的过程中,对英语教学工作提出更高要求。不仅要加大对教育方法的改革力度,还要尽可能地选择符合学生学习需求的多元化英语教学内容,进而实现对复合型人
期刊
英语教育
教学内容
选择
策略
黄河流域:天水城市空间营造
该文是个案研究系列之黄河流域天水城市空间营造研究,对天水城市族群的更替叠累及城市空间营造进行了分析研究。
期刊
族群迁徙
城市空间营
造黄河流
域天水
Migration of ethnic groups
Urban space yingzao
Huanghe Riv
高速光交换器件的控制和大电流驱动电路设计与实现
光突发交换(Optical Burst Bwitching,OBS)技术吸收了光波长交换和光分组交换的优点,克服了二者的不足,有效降低了对光器件的要求.其关键技术之一是快速光交换矩阵,我们研究
期刊
光开关
驱动控制
电路设计
光突发交换
海洋动物的“三十六计”
在人类社会中我们有“民以食为天”之说,也有自我保护的本能,并总结出众所周知的三十六计而在海洋动物中,为了求生、避敌、觅食,它们也使用了不少独特的计策。
期刊
“三十六计”
自我保护
本能
人类社会
海洋动物
觅食
慢性粒细胞白血病中相关融合基因的研究进展
研究证实,慢性粒细胞白血病(CML)中BCR/ABL融合基因具有极高的酪氨酸激酶活性,通过改变作为BCR/ABL催化底物的一些关键调节蛋白的磷酸化状况,激活多种信号转导途径,可致疾病
期刊
慢性粒细胞白血病
BCR/ABL融合基因
NUP98-HOXA9融合基因
RUNX1-EVI1融合基因
浅谈小儿手足口病的临床护理体会
目的研究小儿手足口病的临床护理方法及效果。方法回顾性分析该院160例小儿手足口病患者的临床资料,对患者的临床护理方法、护理效果进行分析,总结临床有效护理措施及注意事
期刊
小儿手足口病
临床护理
护理体会
投影栅相位法三维形貌自动检测应用中的问题
本文针对投影栅相位法测量三维物体表面形貌技术,采用两光轴相交,且非远心投影系统产生的误差进行了分析并提出了修正方法,文中还提了了一种有效算法,利用卷积滤波技术实现频谱的
期刊
投影栅相位法
图像处理
三维地貌
自动检测
3-D object shapes measurement convo lution filtering space
基于大数据理念对法国文学课的改革
高校开设法国文学课的目的和初衷在于提高学生的法语语言能力,并通过法国文学作品的学习来提高学生对于法国文化的认识,从而能够从文化这一更深的层次来理解法语语言的规律和
期刊
法国文学课
大数据理念
个性化
针对性
有效性
“构造”诚可贵 “原理”价更高——例谈用导数解决实际问题中的构造函数法
导数是微积分中的重要基础概念,作为初等数学和高等数学衔接的重要内容,它是近年来竞赛、高校自主招生考试的考查热点之一.教师在通过构造函数法用导数解决实际问题时,应多方
期刊
导数
原理
构造函数
我国港口资源整合现状及对策研究
我国港口资源整合伴随着港口体制改革而展开,初期以贯彻落实《港口法》中要求的"一港一城一政"为目标,取得初步成功。随着港口行业的快速发展,区域间港口重复建设、产能过剩
期刊
港口
资源整合
问题及对策
与本文相关的学术论文