激光直接写入相关论文
基于直角坐标激光直接写入系统和极坐标激光直接写入系统,分别给出了曝光量分布的计算公式,讨论了曝光量分布和光强分布之间的差别......
激光光功率控制对激光加工技术极为重要,本文介绍了在激光直写系统中用于光功率控制的声光调制器件并根据光强稳定度要求分析结出了......
介绍了声光调制器的光强调制原理及声光调制器在激光直接写入设备中实现光强稳定、连续可调的理论和设计.该声光调制器采用钼酸铅晶......
Sub-micron-structure machining on silicon substrate was studied by direct writing system of femtosecond laser with the c......
本文对极坐标激光直接写入系统进行了初步的研究,介绍了它的原理及结构,该系统可用于二元光学掩模的制作,具有加工孔径大、线宽小的特......
在曲面上制作衍射光学元件有很多重要的应用。含有曲面衍射光学元件的光学系统结构更加简化,重量更轻,体积更小,因此在航天成像系统、......
本文介绍了四轴激光直接写入系统,对激光直接在光刻胶上写入图形的工艺进行了研究,讨论了在不同离焦情况下,胶层内光斑的大小和强度分......