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采用脉冲激光沉积技术（PLD），室温下在柔性衬底PET上制备了高度C轴择优取向的Al掺杂ZnO薄膜。XRD分析表明，不同Al掺杂浓度的样品均呈现单一的ZnO相。荧光光谱和透射光谱分析显示，低温低氧压下制备的Al掺杂ZnO薄膜在紫光区域有很强的荧光发射，在可见光区域具有较高的透射率；并且可以通过Al掺杂浓度调节薄膜紫色发光强度和薄膜带隙。薄膜的电阻率随着Al掺杂浓度的增加先降低后增加，在掺杂浓度为3％原子分数时达到最小值。