【摘 要】
:
讨论了一种扭摆式微机械加速度计。介绍了它的敏感元件的结构尺寸、振动模态以及数学模型。阐述了位移检测电路的原理和要求,以及满足这些要求所采用的技术措施。推导了这种加
论文部分内容阅读
讨论了一种扭摆式微机械加速度计。介绍了它的敏感元件的结构尺寸、振动模态以及数学模型。阐述了位移检测电路的原理和要求,以及满足这些要求所采用的技术措施。推导了这种加速度计的敏感元件和位移检测电路的灵敏度公式。叙述了敏感元件的体硅溶解薄片法制造工艺。从热噪声和电噪声两方面分析了这种加速度计的精度极限,相对于当地重力加速度应该能达到10-5。但是,试验样机的初步实验结果表明,目前精度只有10-2~10-3,因此,还有巨大潜力。
其他文献
对于科学社会主义的理论与实践,特别是涉及苏联时期,有很多重要问题争论激烈,20世纪20年代实行的新经济政策就是其中一个重要课题。新经济政策产生于尖锐的经济和社会政治危
在党的十八届六中全会中对反腐倡廉做出了明确的指示,使廉政文化建设有了更大的发展。对铁路企业的廉政文化建设要做出充分的重视,能够认清形势、提高认识,能够知道廉政文化
当代社会,经济迅速发展,中国的传统文化在今天正面临着严峻的考验,由于生活节奏的不断加快,茶文化已经逐渐的被人们所遗忘。但是在实现祖国伟大复兴的今天,文化实力已经成为
晶圆湿法清洗设备是半导体行业中最普遍和必须的设备,其电气控制由于环境的因素有其特殊性和专业性,清洗设备中的电气控制需要配合其清洗的特殊工艺而实现。同时清洗中具有强
商标延伸注册问题起源于生产经营者在激烈的市场竞争下延续现有品牌优势的理性考量。法律实务中,在延伸商标申请之前、基础商标注册之后,往往会出现“拦路虎”引证商标,即在
<正>儿时读《西游记》,激动与遐想之余,总会凭空生出几多愤懑与疑惑:孙悟空集72变才艺于一身,能够呼风唤雨,镇妖降魔,凭什么要老老实实、受尽委屈跟着唐三藏去求什么真经?抛
应用ELISA检测来自柳州市3个大型规模猪场共435份血清中的猪瘟抗体,其中57份血清猪瘟抗体OD值低于30,占13.1%;有44份血清OD值在30~40之间,占10.1%;有334份血清猪瘟OD值大于或
本研究利用自编问卷对沈阳、大连、丹东、葫芦岛四个城市共计134名初三学生进行调查,以生物课程为例分析并评价了辽宁省初中学生情感态度价值观的发展状况。研究结果表明:辽
曾巩的诗文集《元丰类稿》五十卷是在他去世两年后刊刻成书,在宋代先后有全集本、单行本问世,且有大字小字本之分。从现有文献来看,从元丰到开禧年间流行的主要是《元丰类稿
美国青少年问题十分复杂,许多问题往往互相交织,究其主要原因为:贫富差距的扩大,单亲家庭的增多,医疗保健设施不足,家庭教育不当,旷课和中途辍学等。为有效地预防青少年犯罪,