【摘 要】
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讨论了一种扭摆式微机械加速度计。介绍了它的敏感元件的结构尺寸、振动模态以及数学模型。阐述了位移检测电路的原理和要求，以及满足这些要求所采用的技术措施。推导了这种加
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讨论了一种扭摆式微机械加速度计。介绍了它的敏感元件的结构尺寸、振动模态以及数学模型。阐述了位移检测电路的原理和要求，以及满足这些要求所采用的技术措施。推导了这种加速度计的敏感元件和位移检测电路的灵敏度公式。叙述了敏感元件的体硅溶解薄片法制造工艺。从热噪声和电噪声两方面分析了这种加速度计的精度极限，相对于当地重力加速度应该能达到１０－５。但是，试验样机的初步实验结果表明，目前精度只有１０－２～１０－３，因此，还有巨大潜力。
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