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针对开发结构简单、新型和高精度测头这一三坐标发展方向做一些探索性的工作.根据这一方向的要求,研究了采用柔性铰链一体化结构的新型测微测头,从理论上讲一体化的结构较易实现测间的简单化、高精度.
一体化三坐标测头的研究
【摘 要】
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针对开发结构简单、新型和高精度测头这一三坐标发展方向做一些探索性的工作.根据这一方向的要求,研究了采用柔性铰链一体化结构的新型测微测头,从理论上讲一体化的结构较易
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院
【出 处】
：
天津大学学报
【发表日期】
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2004年期
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