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虚拟运行是MEMS器件运行规律的图形化展示，虚拟运行的基础是器件动态模型。首先分析了微泵的静态模型。以有限元分析数据为起点，获得了膜片静态模型。随后给出了阀片的静态模型，得到变形解析表达式且只包含压力变化量。然后以静态模型为基础，从分析微泵运行机制入手，从并不充分的实验数据中得到微泵的动态运行规律。最后基于上述动态模型实现了微泵的虚拟运行，对照实测实验结果，它具有较高的精度。在虚拟环境中可以在线看到虚拟运行状态的相应变化，最终达到了在设计参数和器件运行之间建立直接联系的目标。