用溶胶－凝胶法制备了ＰＺＴ压电薄膜，研制了Ａｕ／ＰＺＴ／ＰＴ／ＴｉＯ２／ＮｉＴｉ／Ｓｉ（１００）多层膜结构，用ＸＲＤ，ＡＦＭ，ＴＥＭ－ＥＤＸ和ＳＡＤ技术考察了薄膜的表面形貌，相结构演化，以及面的元素分布特性。结果表明：ＰＺＴ膜与ＮｉＴｉ合金膜......