【摘 要】
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Xe~+离子注入Q薄膜,使其电导率增加了8个数量级,饱和电导率达2×10~(-3)(Ωcm~(-1)),且在环境条件下十分稳定。XPS分析表明,薄膜注入后表层注入区碳含量显著增加,氧含量明显
【机 构】
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四川大学原子核科学技术研究所,四川大学原子核科学技术研究所,四川大学原子核科学技术研究所,四川大学原子核科学技术研究所,四川大学
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Xe~+离子注入Q薄膜,使其电导率增加了8个数量级,饱和电导率达2×10~(-3)(Ωcm~(-1)),且在环境条件下十分稳定。XPS分析表明,薄膜注入后表层注入区碳含量显著增加,氧含量明显下降,结构发生变化。研究表明,这是电导变化的主要原因。
The Xe ~ + ions are implanted into the Q thin film to increase the conductivity by 8 orders of magnitude and the saturation conductivity to 2 × 10 -3 Ωcm -1, and it is stable under ambient conditions. XPS analysis showed that the carbon content in the surface injection zone increased significantly after oxygen injection, the oxygen content decreased obviously, and the structure changed. Research shows that this is the main reason for the change in conductance.
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