【摘 要】
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本文利用电化学腐蚀方法制备出曲率半径＜100 nm 的钨针尖，并在 FEI Quantum 600型扫描电镜（ SEM）中作为反射靶材以搭建微焦点X射线显微系统。通过SEM发射电子束轰击纳米钨针尖，以
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院大学
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本文利用电化学腐蚀方法制备出曲率半径＜100 nm 的钨针尖，并在 FEI Quantum 600型扫描电镜（ SEM）中作为反射靶材以搭建微焦点X射线显微系统。通过SEM发射电子束轰击纳米钨针尖，以减少电子束和靶材的物理作用区域，进而减小X射线源的光斑尺寸，实现高分辨率的X射线显微成像。采用线对卡来评价系统的最佳成像分辨率，实验结果表明：系统在加速电压30 kV、电子束束流120 nA、SEM的工作距离5 mm、放大倍数为100倍、探测器采集时间为180 s的条件下，可以获得优于1μm的分辨率图像。
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