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一种测量超微粒子表面氧化层厚度的新方法
一种测量超微粒子表面氧化层厚度的新方法
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaochushang
【摘 要】
:
通过XPS分析与Ar~+刻蚀相结合的方法,测量了Fe_(50)Pd_(50)合金超微粒子(UFP)的表面氧化层厚度,发现它的表面氧化层为1.4um厚,小于电镜观察到的表面非晶层厚度,表明此方法测量的表面
【作 者】
:
陈健
孙秀魁
【机 构】
:
中国科学院金属研究所快速凝固非平衡合金国家重点实验室,110015,11
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
1994年2期
【关键词】
:
超微粒子
氧化层
粒子
测量
Ultrafine particles(UFP)
Oxide layer
Method
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通过XPS分析与Ar~+刻蚀相结合的方法,测量了Fe_(50)Pd_(50)合金超微粒子(UFP)的表面氧化层厚度,发现它的表面氧化层为1.4um厚,小于电镜观察到的表面非晶层厚度,表明此方法测量的表面氧化层厚度不受表面吸附层的影响,并且能直接了解UFP表面的具体氧化状态。
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