【摘 要】
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针对常规T0封装下红外光源辐射量在一定光程下严重衰减的不足，基于自研的MEMS红外光源结构，提出了用于红外辐射增强的反射镜及用于光束准直的透镜封装结构，以期大幅提高光源有效
【机 构】
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中北大学,中国科学院微电子研究所智能感知研发中心,昆山光微电子有限公司
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（No.61335008,No.61601455）,国家高技术研究发展计划项目（No.2015AA042605）资助.
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针对常规T0封装下红外光源辐射量在一定光程下严重衰减的不足，基于自研的MEMS红外光源结构，提出了用于红外辐射增强的反射镜及用于光束准直的透镜封装结构，以期大幅提高光源有效辐射效率。本文基于Zemax软件对红外光源在光路中的辐射特性进行了模拟仿真。仿真结果表明：红外光源放置于9．52mm口径、9．41mm深度的抛物面反射镜的焦点位置，辐射能量提高了15．5倍；采用2．2133133厚的BaF：材料的双凸曲面辐射透镜，红外光线呈准直收敛辐射，辐射效率最大可以达到27．42％。本工作研究成果为红外光学气体传感
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