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介绍了一种制作在低阻硅(3～8Ω·cm)上的悬臂式RFMEMS开关。在Cr／Au CPW共面波导上，金／SiOxNy／金三明治结构或电镀金作为悬置可动臂，静电受激作为开关机理。当开关处于“关断”态，其隔离度小于-35dB(20～40GHz)；阈值电压为13V；开关处于“开通”态，插入损耗为4～7dB(1～10GHz)，反射损耗为-15dB。另外，还分析了开关的悬臂梁弯曲度与驱动电压的关系，并应用ANSYS软件对开关进行了电学、力学及耦合特性的计算机模拟。