【摘 要】
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实际工作中,半导体硅片的清洁程度对太阳能电池的继续发展有着很大的影响,所以人们对半导体硅片清洗的方法提出了更苛刻的要求.半导体硅片在经过切片、倒角、研磨、抛光等加
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实际工作中,半导体硅片的清洁程度对太阳能电池的继续发展有着很大的影响,所以人们对半导体硅片清洗的方法提出了更苛刻的要求.半导体硅片在经过切片、倒角、研磨、抛光等加工过程中,表面会受到不同程度的污染,比如颗粒、金属离子以及有机物.基于此,本文将着重分析探讨半导体硅片的超声和兆声清洗技术,以期能为以后的实际工作起到一定的借鉴作用.
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