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期刊论文
三层平板静电驱动MEMS微镜
三层平板静电驱动MEMS微镜
来源 :微纳电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ares_sh
【摘 要】
:
驱动电压过高是MEMS微镜需要解决的重点问题.根据平板静电驱动器原理,设计了一种新型三层电极平板结构的静电驱动MEMS微镜,分析了此微镜系统的静态特性和动态特性.此微镜系统
【作 者】
:
冯仁剑
万江文
凌坚
【机 构】
:
北京邮电大学
【出 处】
:
微纳电子技术
【发表日期】
:
2005年12期
【关键词】
:
微机电系统
微镜
静电驱动
MEMS
micromirror
electrostatic driver
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驱动电压过高是MEMS微镜需要解决的重点问题.根据平板静电驱动器原理,设计了一种新型三层电极平板结构的静电驱动MEMS微镜,分析了此微镜系统的静态特性和动态特性.此微镜系统的设计驱动电压为6.3 V,动态响应时间达到1.2ms.
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