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采用直流气人本放电活化反应蒸发沉积法，通过二次蒸镀、制备了以氧化锌为衬底的ＳｎＯ２－ＺｎＯ复合型功能气敏薄膜，讨论制备工艺对该薄膜微观结构的影响，并提供了宏观性质和微观机理分析结果。
氧化锌基SnO2—ZnO UPF制备工艺对其微观结构的影响
【摘 要】
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采用直流气人本放电活化反应蒸发沉积法，通过二次蒸镀、制备了以氧化锌为衬底的ＳｎＯ２－ＺｎＯ复合型功能气敏薄膜，讨论制备工艺对该薄膜微观结构的影响，并提供了宏观性质和微观机理分析结果。
【机 构】
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华东理工大学物理系,华东理工大学分析测试中心
【出 处】
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华东理工大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1996年1期
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