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干涉仪又称为激光干涉仪,因其高分辨率、高精度、可溯源到波长基准,在科学前沿和尖端装备制造中应用广泛,发挥着不可替代的作用.在科学研究上,大科学工程离不开激光干涉仪,如:引力波的探测、激光干涉空间天线的构成、电子直线加速器的准直、太阳系外行星的探测等;在工业上,激光干涉仪广泛应用在机床、汽车、飞机、船舶、电机、机械加工、微电子、医疗、光学制造等企业,用于机床校准、各种量具校准,大规模集成电路的光刻机控制,飞机、电机的装配等.目前,我国尚无生产和提供激光干涉测量仪产品的厂家,全球的激光干涉测量仪的市场主要由雷尼绍公司、齐戈(Zygo)公司、安捷伦科技有限公司瓜分、占领.这些公司的产品不但价格昂贵,而且涉及到军工、国防应用的激光干涉测量仪还对我们国家禁运.