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期刊论文
硅中δ掺杂的新进展
硅中δ掺杂的新进展
来源 :物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zxcasd456
【摘 要】
:
δ掺杂Si材料是一种新型半导体材料,它是利用杂质工程和能带工程的结合来调节半导体的性质的。它的许多物质为低维半导体系统的研究开辟了一个新领域,同时正是这些物理特性使得该
【作 者】
:
蒋最敏
【机 构】
:
复旦大学物理系
【出 处】
:
物理
【发表日期】
:
1996年11期
【关键词】
:
Δ掺杂
硅基材料
分子束外延
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δ掺杂Si材料是一种新型半导体材料,它是利用杂质工程和能带工程的结合来调节半导体的性质的。它的许多物质为低维半导体系统的研究开辟了一个新领域,同时正是这些物理特性使得该材料在硅基光电子晶件,电子器件研制中具有广阔的应用前景,文章介绍了硅中δ掺杂方面的研究新进展。
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