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期刊论文
纳米锗颗粒镶嵌复合薄膜的显微结构研究
纳米锗颗粒镶嵌复合薄膜的显微结构研究
来源 :电子显微学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yanzixu
【摘 要】
:
用离子束浅射技术成功地制备了Ge-SiO2纳米颗粒镶嵌复合薄膜。采用透射电子显微镜研究了不同热处理条件下获得的薄膜样品的显微组织结构,并用X射线光电子能谱技术分析了薄膜样品的成分
【作 者】
:
岳兰平
秦勇
何怡贞
【机 构】
:
中国科学院固体物理研究所,中国科学院结构分析开放实验室
【出 处】
:
电子显微学报
【发表日期】
:
1995年6期
【关键词】
:
纳米颗粒镶嵌膜
显微结构
透射电镜
锗
二氧化碳
Ge-SiO_2 thin film Crystalline structure TEM
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用离子束浅射技术成功地制备了Ge-SiO2纳米颗粒镶嵌复合薄膜。采用透射电子显微镜研究了不同热处理条件下获得的薄膜样品的显微组织结构,并用X射线光电子能谱技术分析了薄膜样品的成分。研究结果表明,镶嵌纳米锗颗粒为fcc结构、其点阵参数随着锗颗粒度的不同而有一个变化范围。
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