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提出了基于扫描离子电导显微术（ＳＩＣＭ）的电化学微细加工方法。采用充满电解液并置有金属电极的微滴管作阳板，置于电解槽中的加工基板作阴极。由于微滴客与基板间离子电导随两者间距减少而减小，采用反馈系统可保持这一间距恒定。利用电解机理，当微滴管在横向扫描基板时，可在基板表面加工出任意形状的点、线、面图案，加工线 宽与微滴管尖端内径数量组相同。本文讨论电化学微细加工方法的原理、装置与可行性实验，用尖端内１