【摘 要】
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本文叙述压力传感器的核心部件——扩散硅力敏器件的机理、制造方法.
This paper describes the core part of the pressure sensor - diffusion force mechanism of silico
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本文叙述压力传感器的核心部件——扩散硅力敏器件的机理、制造方法.
This paper describes the core part of the pressure sensor - diffusion force mechanism of silicon devices, manufacturing methods.
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