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运用afors-het软件对β-FeSi2（n）/a-Si （i）/c-Si（p）结构的太阳能电池进行模拟，依次讨论了本征层、发射层、界面态对电池性能的影响。结果表明：添加本征层电池性能提高，但随着本征层厚度的增加载流子收集率下降、串联电阻增大，造成电池光电转化效率下降；发射层厚度的增加使得载流子的收集率下降造成光电转化效率下降，同时发射层掺杂浓度增大虽然使得内建电场强度增大，但载流子的复合也会加大，最终使得电池性能保持稳定；界面态使得电池性能下降，为使电池获得较好性能，界面态密度应尽可能小于1011 c