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本文综述了PVD/CVD/PCVD涂层在工具表面应用,比较几种沉积工艺的应用特点,分析了影响CVD/PCVD涂层与基体附着力的影响因素及研究现状.详细介绍了CVD金刚石涂层的应用、沉积工艺、抛光工艺以及相关的基体前处理工艺.展望了PVD/CVD/PCVD涂层在工具表面应用、发展的研究方向.
金刚石气相沉积硬膜在工具表面的应用与发展
【摘 要】
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本文综述了PVD/CVD/PCVD涂层在工具表面应用,比较几种沉积工艺的应用特点,分析了影响CVD/PCVD涂层与基体附着力的影响因素及研究现状.详细介绍了CVD金刚石涂层的应用、沉积工
【机 构】
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北京科技大学材料学院100083
【出 处】
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金刚石与磨料磨具工程
【发表日期】
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2002年1期
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