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在微细电火花加工过程中,由于放电时间极短,使得其阴阳两极的电极材料蚀除过程产生较大的差异.本文应用传热学和电场的基本理论,分别对微细电火花加工阴阳两极的材料蚀除机理进行了理论研究,得出了在窄脉宽微细电火花加工中,尽量缩短脉宽可提高阳极材料的去除效率,同时又不会明显增加阴极材料损耗的结论.为微细电火花加工脉冲电源设计及加工工艺的改进提供了理论依据.