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Si:H薄膜的微结构及输运性质
Si:H薄膜的微结构及输运性质
来源 :太阳能学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:deboywang126
【摘 要】
:
用扫描电镜观察Si:H薄膜的剖面,发现用平板电极沉积的Si:H薄膜呈柱状结构,而用环形电极沉积的膜具有层状结构。喇曼谱和X射线谱表明,这两种结构对应于微晶相的存在。测定薄膜
【作 者】
:
周心明
郑家贵
【机 构】
:
四川大学,四川大学
【出 处】
:
太阳能学报
【发表日期】
:
1989年1期
【关键词】
:
Si:H薄膜
微结构
输运性质
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用扫描电镜观察Si:H薄膜的剖面,发现用平板电极沉积的Si:H薄膜呈柱状结构,而用环形电极沉积的膜具有层状结构。喇曼谱和X射线谱表明,这两种结构对应于微晶相的存在。测定薄膜的暗电导与温度间的关系,发现薄膜的电导激话能为各向异性。联系耦合方式讨论了薄膜的生长机制。更多还原
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