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期刊论文
CCD多路信号传输器的研制
CCD多路信号传输器的研制
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaosheng2099
【摘 要】
:
采用三层多晶硅交迭栅三相埋沟结构,设计并研制成功了16位线阵CCD多路信号传输器,器件动态范围达45dB,转移效率≥99.99%。文章阐述该器件的结构、工作原理、器件参数分析及影响器件性能的因素和
【作 者】
:
程开富
【机 构】
:
重庆光电技术研究所
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
1996年5期
【关键词】
:
CCD
多路信号传输器
多晶硅
交迭栅
埋沟结构
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采用三层多晶硅交迭栅三相埋沟结构,设计并研制成功了16位线阵CCD多路信号传输器,器件动态范围达45dB,转移效率≥99.99%。文章阐述该器件的结构、工作原理、器件参数分析及影响器件性能的因素和专项工艺研究。
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