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采用三层多晶硅交迭栅三相埋沟结构，设计并研制成功了１６位线阵ＣＣＤ多路信号传输器，器件动态范围达４５ｄＢ，转移效率≥９９．９９％。文章阐述该器件的结构、工作原理、器件参数分析及影响器件性能的因素和专项工艺研究。
CCD多路信号传输器的研制
【摘 要】
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采用三层多晶硅交迭栅三相埋沟结构，设计并研制成功了１６位线阵ＣＣＤ多路信号传输器，器件动态范围达４５ｄＢ，转移效率≥９９．９９％。文章阐述该器件的结构、工作原理、器件参数分析及影响器件性能的因素和
【机 构】
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重庆光电技术研究所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1996年5期
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