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介绍了光子计数型电荷耦合器件（CCD）的工作原理，标定了2．0～30keV的探测效率。在超强超短激光等离子体相互作用中，实验用靶为复合靶，分别用Cu＋Mo和Al＋Cu制作。第1层靶是Cu或Al物质作为电子示踪材料，第2层靶是Mo或Cu物质作为荧光材料，利用光子计数型CCD测量了Mo和Cu的X射线能谱，同时得到CCD的能量分辨率大于37。该CCD可用于激光等离子体低通量高能X射线测量实验。