【摘 要】
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<正>硅材料是电子工业制造过程中必不可缺的原材料,其制成的硅片一般有两种:一是电子级硅片,二是太阳能级硅片。电子级硅片是制作集成电路芯片及二极管等半导体器件最主要的
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<正>硅材料是电子工业制造过程中必不可缺的原材料,其制成的硅片一般有两种:一是电子级硅片,二是太阳能级硅片。电子级硅片是制作集成电路芯片及二极管等半导体器件最主要的组成部分,一般硅纯度要达到11N(99．999999999％);太阳能级硅片是制作太阳能电池的主要元件,一般硅纯度为6N(99．9999％)以上。
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