【摘 要】
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针对于原半导体生产线在生产过程中晶圆传递机械臂定位不够精确的问题,通过对机械臂进行力学分析,研究其运动轨迹,并对晶圆机械臂的运动轨迹进行了数学建模分析。并根据晶圆
【基金项目】
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陕西省教育科学“十三五”规划课题:基于海尔订单班的高职机电类专业现代学徒制人才培养模式的探索和实践研究(No.SGH18V017)
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针对于原半导体生产线在生产过程中晶圆传递机械臂定位不够精确的问题,通过对机械臂进行力学分析,研究其运动轨迹,并对晶圆机械臂的运动轨迹进行了数学建模分析。并根据晶圆机械臂运动轨迹分析结果,引入插补算法减小累积误差,并利用B&R 2003 PLC进行程序设计实现系统精准定位,通过实验实际数据表明,误差范围较小,可实现精准定位功能。
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