晶圆传递机械臂相关论文
由于半导体生产过程中需要在真空环境下进行,所以必须利用机械臂完成传递工作.在本文中主要研究了晶圆传递机械臂硬件系统搭建,并......
针对于原半导体生产线在生产过程中晶圆传递机械臂定位不够精确的问题,通过对机械臂进行力学分析,研究其运动轨迹,并对晶圆机械臂......