【摘 要】
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目的降低单层光学薄膜的散射损耗。方法通过相干散射理论研究,给出了单层光学薄膜减散射的理论依据。利用电子束热蒸发技术在K9玻璃上分别镀制了单层光学厚度为λ/2的TiO2和
【基金项目】
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陕西省自然科学基础研究计划项目(2018JM6031);陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(18JS054)~~
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目的降低单层光学薄膜的散射损耗。方法通过相干散射理论研究,给出了单层光学薄膜减散射的理论依据。利用电子束热蒸发技术在K9玻璃上分别镀制了单层光学厚度为λ/2的TiO2和λ/4的SiO2薄膜,并通过改变工艺对薄膜的表面粗糙度进行了调控,利用horos散射仪分别测量了镀膜前后光学元件表面的双向反射分布函数。结果对于光学厚度为λ/2的单层TiO2薄膜,当薄膜上下界面粗糙度比值为0.7时,减散射效果明显优于比值为0.6和0.9,且比值越接近0.71,减散射效果越明显。对于光学厚度为λ/4的单层SiO2薄膜,当薄膜
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