【摘 要】
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高精密量测机台在量测过程中,温度波动和支撑地板震动均会影响量测精度。选用合适的量测设备、工件台材料以减弱温度波动的影响,选用装备减震功能的部件以提高量测工件台的平稳性,采用气悬浮移动工作平台减少摩擦力以提升量测精度。量测设备工件台结构和零部件组合的几何精度分析结果表明,高精密量测机台的水平/垂直直线性上移动小于2μm,气悬浮平台的悬浮间隙误差小于1μm。
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高精密量测机台在量测过程中,温度波动和支撑地板震动均会影响量测精度。选用合适的量测设备、工件台材料以减弱温度波动的影响,选用装备减震功能的部件以提高量测工件台的平稳性,采用气悬浮移动工作平台减少摩擦力以提升量测精度。量测设备工件台结构和零部件组合的几何精度分析结果表明,高精密量测机台的水平/垂直直线性上移动小于2μm,气悬浮平台的悬浮间隙误差小于1μm。
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