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ULSI制备中Cu布线的CMP技术及抛光液的研究
ULSI制备中Cu布线的CMP技术及抛光液的研究
来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:huhuhuhuanguo
【摘 要】
:
对ULSI制备中铜布线技术作了系统的介绍,对CMP相关技术抛光机理、浆料的种类及成分均作了整体的分析和论述,并对目前存在问题及解决的方法和发展方向进行了分析讨论。此外,还对
【作 者】
:
刘玉岭
王弘英
等
【机 构】
:
河北工业大学
【出 处】
:
半导体技术
【发表日期】
:
2001年8期
【关键词】
:
集成电路
抛光液
多层互连结构
化学机械抛光
浆料
ULSI
铜布钱
copper
interconnection
CMP
slurry
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对ULSI制备中铜布线技术作了系统的介绍,对CMP相关技术抛光机理、浆料的种类及成分均作了整体的分析和论述,并对目前存在问题及解决的方法和发展方向进行了分析讨论。此外,还对新研制的一种新型、高效、无污染的浆料进行介绍了。
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