GaP(111)表面吸氧的AES及WF研究

来源 :浙江大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户:bian123
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用AES(俄歇电子谱)及Kelvin探头对Gap(111)表面吸氧进行了研究。发现在GaP(111)表面上有两种状态的氧存在:ⅰ)在氧暴露量小于1000L时,表面上主要是吸附状态的氧,使功函数(WF)增加;ⅱ)当氧的暴露量大于1000L后,表面发生氧化,功函减小,且有磷氧化物的升华。 Oxygen absorption on the Gap (111) surface was studied using AES (Auger electron spectroscopy) and a Kelvin probe. It is found that there are two states of oxygen present on the surface of GaP (111): i) oxygen that is predominantly adsorbed on the surface at an oxygen exposure of less than 1000 L, increasing the work function (WF); ii) Above 1000L, oxidation occurs on the surface, work function decreases, and there is sublimation of phosphorus oxide.
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