离子镀TiN色泽与工艺关系的研究

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在TG-4型离子镀膜机上,择TiN装饰膜镀制工艺进行了研究。结果表明,控制偏压、真空度、温度、氮气、氩气流量,可得到由白到淡黄、金黄、暗黄乃至黑色的TiN膜层,而膜的沉积速度要在nm/S级范围内变化。
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