碲锌镉单晶体的（110）面蚀坑形貌观察

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dajiangdq68

【摘要】

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本文报道了一种能够在室温下择优腐蚀碲锌镉(CZT)单晶体(110)晶面的腐蚀液配方,并对富Cd生长的CZT晶体蚀坑形貌进行了扫描电镜观察.结果表明晶体(110)面腐蚀坑形状为三角形,

【作者】

：

高德友赵北君朱世富王瑞林魏昭荣李含冬韦永林唐世

【机构】

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四川大学材料科学系

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2004年2期

【关键词】

：

碲锌镉单晶体 SEM形貌腐蚀坑密度布里奇曼法半导体材料 CdZnTe single crystals etch pits observation SE

【基金项目】

：

国家自然科学基金，高等学校博士学科点专项科研项目，四川省科技攻关项目

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本文报道了一种能够在室温下择优腐蚀碲锌镉(CZT)单晶体(110)晶面的腐蚀液配方,并对富Cd生长的CZT晶体蚀坑形貌进行了扫描电镜观察.结果表明晶体(110)面腐蚀坑形状为三角形,并初步对蚀坑的成因进行了分析,估算出CZT(110)面蚀坑密度约为103～105/cm2数量级.这说明富Cd原料的改进布里奇曼法可以生长出低蚀坑密度的CZT单晶体.

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