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为了精确测量厚度在以1μm以下薄膜材料的微波复介电常数,提出一种基于金属谐振腔微扰理论的测量方法和装置,对该方法进行了理论分析和实验验证,实验样品采用081μm厚度的MC-91(BaO-(SmNdLa)2O3-B2O3-TiO2)介质陶瓷薄膜,测试频率在2.4GHz左右,对测量结果进行了误差分析,其相对误差<7﹪,其中3﹪的误差是由薄膜厚度的测量误差引起的。