基于导电AFM类金刚石膜表面改性研究

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用导电原子力显微镜(AFM)针对宏观上绝缘,微观上由导电相sp2和绝缘相sp3混合的类金刚石(DLC)膜,进行表面改性的研究,尤其观察DLC膜表面施加电压前后形貌变化。实验表明,当直流电压加在针尖上,DLC膜形貌未发生变化,而电压施加在样品表面则出现明显纳米加工凹坑。解释了凹坑的“蝴蝶坑”形成原因;对DLC膜力电耦合实验表明,在一定临界压力之下,随针尖对样品作用力的加大,凹坑的深度随之增加。 The surface modification of the DLC film was investigated by means of AFM. The DLC film was macroscopically insulative and microscopically mixed by conductive phase sp2 and insulative phase sp3. Experiments show that when the DC voltage is applied to the tip, the DLC film morphology does not change, and the voltage applied to the sample surface is obvious nano-processing pits. The reason of the formation of “butterfly crater” in dimples is explained. The experiment on the electrocatalysis of DLC films shows that the depth of the dimples increases with the increase of the force acting on the sample under a certain critical pressure.
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