周期多层膜Kirkpatrick—Baez显微镜成像性质分析

来源 :强激光与粒子束 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sswei1988
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分析了KirkpatrickBaez(KB)显微镜的成像性质与周期多层膜元件间的关系。基于分辨力和集光效率要求,设计了KB显微镜的光学结构,模拟了KB系统的成像质量,用W/B1C周期多层膜反射镜进行了X射线成像实验,在±100μm视场内得到优于5μm的空间分辨力结果。实验与模拟结果的对比表明,加工精度和球差是影响中心视场分辨力的关键因素,有效视场的大小受多层膜角度带宽的限制。
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