周期多层膜相关论文
本文阐述了“逐层”设计的理论基础,膜材选择的基本原则,推导了多层膜反射率递推公式。以光学工程中常用材料熔融石英和硅为基底......
金属氮化物多层膜的研究,由于它在摩擦学及微电子学方面的广泛应用[1],而越来越受到人们的关注。本文对一组TiN/TaN多层膜进行了原......
分析了Kirkpatrick-Baez(KB)显微镜的成像性质与周期多层膜元件间的关系.基于分辨力和集光效率要求,设计了KB显微镜的光学结构,模......
通过对Mo/Si周期多层膜添加碳(C)层、进行高温退火处理,研究了Mo/Si/C多层膜进行热处理后在同步辐照条件下对薄膜相关物理特性的影......
分析了KirkpatrickBaez(KB)显微镜的成像性质与周期多层膜元件间的关系。基于分辨力和集光效率要求,设计了KB显微镜的光学结构,模拟了K......
多层膜技术极大地提高了光学元件对极紫外光和软X射线的反射率,有力地促进了该波段光学系统的发展,已在天文学、显微成像、光刻、同......