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分析了沉积薄膜厚度、PECVD的薄膜沉积温度、反应气体形成的杂质以及多层薄膜之间热应力匹配等因素对薄膜残余应力的影响.应用光刻分割聚酰亚胺(PI)牺牲层、分层生长氮化硅薄膜及快速热退火等工艺减小薄膜残余应力,成功生长出了合格的氮化硅薄膜.
MEMS开关中氮化硅薄膜工艺研究
【摘 要】
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分析了沉积薄膜厚度、PECVD的薄膜沉积温度、反应气体形成的杂质以及多层薄膜之间热应力匹配等因素对薄膜残余应力的影响.应用光刻分割聚酰亚胺(PI)牺牲层、分层生长氮化硅薄
【机 构】
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福州大学物理与信息工程学院
【出 处】
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福州大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2009年01期
【基金项目】
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福建省自然科学基金资助项目(2006J0032)
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