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台积电位于台南科学园区的晶圆14厂，第三期工程近日正式动土兴建，预计2007年第三季度开始装机，规划月产能为4．5万片Φ300mm晶圆：此外，14厂第二期也于同日装机，合计晶圆14厂第一、二、三期总产能每月高达11．5万片Φ300mm晶圆。
台积电晶圆14厂第三期正式动工二期同步装机
【摘 要】
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台积电位于台南科学园区的晶圆14厂，第三期工程近日正式动土兴建，预计2007年第三季度开始装机，规划月产能为4．5万片Φ300mm晶圆：此外，14厂第二期也于同日装机，合计晶圆14厂第一、二
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2006年7期
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