【摘 要】
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以ZnO、Al2O3粉体为原料,采用常压烧结方法制备高导电性Al：ZnO（AZO）陶瓷靶材,并系统研究了不同的成型压力、烧结工艺及其烧结温度对靶材电学特性和密度的影响。结果表明：成型压力
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以ZnO、Al2O3粉体为原料,采用常压烧结方法制备高导电性Al：ZnO（AZO）陶瓷靶材,并系统研究了不同的成型压力、烧结工艺及其烧结温度对靶材电学特性和密度的影响。结果表明：成型压力的大小对于ZAO靶材本身的密度、成品率及最后烧结的性能都有很大的影响。成型压力为14Mpa时,靶材的电阻率最小,为0.35Ωcm。烧结温度的选择也是制备靶材的关键,为了避免靶材出现断层、上表面壳曲、微裂纹甚至开裂现象,要采用缓慢升温,长时间保温与缓慢降温的方法。实验表明,在1250℃时,AZO靶材表面平整致密,基本上达到了
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