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文章介绍了晶片材料的超精密加工设备以及几种典型晶片材料加工工艺的最新发展,综述了几种典型超精密加工设备的特点以及单晶硅片、石英晶体、K9玻璃、钽酸锂单晶材料的加工工艺方法,探讨了晶片材料的超精密加工技术的发展趋势.
晶片材料的超精密加工技术现状
【摘 要】
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文章介绍了晶片材料的超精密加工设备以及几种典型晶片材料加工工艺的最新发展,综述了几种典型超精密加工设备的特点以及单晶硅片、石英晶体、K9玻璃、钽酸锂单晶材料的加工
【机 构】
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广东工业大学
【出 处】
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组合机床与自动化加工技术
【发表日期】
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2004年3期
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