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为了研究生长氧压对ZnO薄膜的结构和光学性质的影响，采用脉冲激光沉积技术，在P—Si（111）衬底上制备了不同生长氧压下的掺铜ZnO薄膜。利用X射线衍射仪对样品的结构进行了分析，并用荧光分光光度计对样品的光致发光谱进行了测量。结果表明，所有样品均在20=34．3°附近出现ZnO（002）衍射峰，没有发现Cu的衍射峰，在衬底温度为400℃、生长氧压为0．2Pa的条件下，样品有较好的c轴择优取向；室温下测得样品的光致发光谱中均观察到460nm（2．71eV）左右的蓝光发光带，该发光带来源于薄膜中的锌