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基于反射光干涉测量法介绍了单层薄膜生长率实时检测系统的原理,建立了双光束干涉简化模型。进行了LD功率稳定闭环控制电路和探测器前置聚光镜的设计,并利用简化模型对膜厚检测的精度进行定量分析。
单层薄膜生长率实时检测系统的设计与分析
【摘 要】
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基于反射光干涉测量法介绍了单层薄膜生长率实时检测系统的原理,建立了双光束干涉简化模型。进行了LD功率稳定闭环控制电路和探测器前置聚光镜的设计,并利用简化模型对膜厚检
【机 构】
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扬州职业大学
【出 处】
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扬州职业大学学报
【发表日期】
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2009年03期
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