采用高能电子束辐照技术制造高反压大功率开关晶体管

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应用最佳能量为12MeV的电子束对大功率开关晶体管进行了辐照.结果表明,经电子束辐照的开关晶体管具有开关特性优良、热稳定性高、器件参数一致性好等特点。 High power switching transistors are irradiated with electron beams of 12 MeV at the optimum energy. The results show that the switching transistor irradiated by electron beam has the characteristics of excellent switching characteristics, high thermal stability and good device parameter consistency.
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